PECVD 是什么

来源：学生作业帮助网 编辑：作业帮 时间：2024/04/25 23:32:47

PECVD 是什么
PECVD 是什么

PECVD 是什么
PECVD( plasma enhanced chemical vapor deposition )等离子体增强化学气相沉积
它是电池片生产过程中的一道工序,（电池片的生产工序主要有1.清洗制绒 2.扩散 3.刻蚀.4.扩散后清洗 5.PECVD 6.丝网印刷 7.测试分选）PECVD主要是对电池片的正极面进行镀膜从而加大电池片对光的吸收强度 目前据我知道的它主要分为板式和管式两种工艺

PECVD--等离子体增强化学气相沉积法
为了使化学反应能在较低的温度下进行，利用了等离子体的活性来促进反应，因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积(PECVD).

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