如何用PVD法或等离子体增强PVD法镀厚硅膜?注:厚度超过50微米,还要考虑内应力和热应力,进行应力设计.

来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/05/09 00:21:02

如何用PVD法或等离子体增强PVD法镀厚硅膜?注:厚度超过50微米,还要考虑内应力和热应力,进行应力设计.
如何用PVD法或等离子体增强PVD法镀厚硅膜?
注:厚度超过50微米,还要考虑内应力和热应力,进行应力设计.

如何用PVD法或等离子体增强PVD法镀厚硅膜?注:厚度超过50微米,还要考虑内应力和热应力,进行应力设计.
直接渡就OK