电容式传感器可以测薄膜的厚度吗?

来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/04/29 20:52:57

电容式传感器可以测薄膜的厚度吗?
电容式传感器可以测薄膜的厚度吗?

电容式传感器可以测薄膜的厚度吗?
可以的.
电容传感器分为单极性和双极性的.单极性例如ZCS1100,需要有一个平整的背板,将薄膜放在传感器探头与背板之间来测薄膜厚度.
双极性例如ZNXsensor,有正负两个电容极片,将薄膜放在两个极片之间来测厚度.
但是具体的测量方式还需要非常多的详细步骤.