多晶硅中三氯氢硅合成湿法除尘的原理及作用

来源：学生作业帮助网 编辑：作业帮 时间：2024/05/02 06:22:34

多晶硅中三氯氢硅合成湿法除尘的原理及作用
多晶硅中三氯氢硅合成湿法除尘的原理及作用

多晶硅中三氯氢硅合成湿法除尘的原理及作用
用四氯化硅溶液洗涤三氯化铝或三氯化铁等杂质,湿法除尘塔起到关键作用.

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我们是利用粗品三氯氢硅喷淋流化床出来的混合气体，可以使用填料塔+一个再沸器，我们把它叫做釜式蒸发器，这样可以有效的除去气体中的重组分、AlCl3、FeCl3还有少量的硅粉。

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