我这有种情况,不论是多晶还是单晶硅片,经过清洗后出现水渍,水泡装的脏片,疑似水质或者清洗剂残留硅片高温烘干后产生的,这种情况能用什么方法洗掉么?或者腐蚀~

来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/05/04 19:22:08

我这有种情况,不论是多晶还是单晶硅片,经过清洗后出现水渍,水泡装的脏片,疑似水质或者清洗剂残留硅片高温烘干后产生的,这种情况能用什么方法洗掉么?或者腐蚀~
我这有种情况,不论是多晶还是单晶硅片,经过清洗后出现水渍,水泡装的脏片,疑似水质或者清洗剂残留硅片
高温烘干后产生的,这种情况能用什么方法洗掉么?或者腐蚀~

我这有种情况,不论是多晶还是单晶硅片,经过清洗后出现水渍,水泡装的脏片,疑似水质或者清洗剂残留硅片高温烘干后产生的,这种情况能用什么方法洗掉么?或者腐蚀~
清洗工艺要更改 最后逆流调大点 药水减少试试看 还有前面脱胶是不是乳酸 溶度低点 最好你那边有个详细报告最好