三氯氢硅过滤工艺是什么多晶硅行业中,改良西门子法,三氯氢硅的提纯是核心,目前国内三氯氢硅提纯这一步是怎么做的?

来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/04/29 02:19:56

三氯氢硅过滤工艺是什么多晶硅行业中,改良西门子法,三氯氢硅的提纯是核心,目前国内三氯氢硅提纯这一步是怎么做的?
三氯氢硅过滤工艺是什么
多晶硅行业中,改良西门子法,三氯氢硅的提纯是核心,目前国内三氯氢硅提纯这一步是怎么做的?

三氯氢硅过滤工艺是什么多晶硅行业中,改良西门子法,三氯氢硅的提纯是核心,目前国内三氯氢硅提纯这一步是怎么做的?
先用旋风进行除尘,再用袋式过滤器,而后是急冷器进行洗涤分离~